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TiO₂박막의 원자층성장에 관한 연구 = (A)study on atomic layer growth of TiO₂ thin films
표제/저자사항 TiO₂박막의 원자층성장에 관한 연구 = (A)study on atomic layer growth of TiO₂ thin films / 부진효, 조성민
형태사항 p. 615-617: 삽도; 29 cm
주기사항 수록자료: 화학공학. 한국화학공학회. 37권 4호(1999년 8월), p. 615-617 37:4<615 상세보기 ISSN 0304-128X
저자: 부진효, 성균관대학교 자연과학부
저자: 조성민, 성균관대학교 화학공학과 E-MAIL: smcho@yurim.skku.ac.kr
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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