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Si (111) 기판 위에 다양한 AlN 완충층을 이용한 GaN 성장과 특성 비교 = Comparison of growth and properties of GaN with various AlN buffer layers on Si (111) substrate
표제/저자사항 Si (111) 기판 위에 다양한 AlN 완충층을 이용한 GaN 성장과 특성 비교 = Comparison of growth and properties of GaN with various AlN buffer layers on Si (111) substrate / 신희연, 이정욱, 정석훈, 유지범, 양철웅
형태사항 p. 50-58: 삽도; 26 cm
주기사항 수록자료: 韓國眞空學會誌. 韓國眞空學會. 11권 1호(2002년 4월), p. 50-58 11:1<50 상세보기 ISSN 1225-8822
저자: 신희연, 성균관대학교 금속재료공학부
저자: 이정욱, 성균관대학교 금속재료공학부
저자: 정성훈, 성균관대학교 금속재료공학부
저자: 유지범, 성균관대학교 금속재료공학부
저자: 양철웅, 성균관대학교 금속재료공학부
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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