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FVA 증착법에 의해 합성된 ta-C 박막의 구조 및 물성 제어 = (The)control of the structure and properties of tetrahedral amorphous carbon films prepared by Filtered Vacuum Arc
표제/저자사항 FVA 증착법에 의해 합성된 ta-C 박막의 구조 및 물성 제어 = (The)control of the structure and properties of tetrahedral amorphous carbon films prepared by Filtered Vacuum Arc / 이철승, 신진국, 김종국, 이광렬, 윤기현,
형태사항 p. 8-15: 삽도; 26 cm
주기사항 수록자료: 韓國眞空學會誌. 韓國眞空學會. 11권 1호(2002년 4월), p. 8-15 1:1<8 상세보기 ISSN 1225-8822
저자: 이철승, 한국과학기술연구원 미래기술연구본부, 연세대학교 세라믹 공학과 E-MAIL: assong@kist.re.kr
저자: 신진국, 전자부품연구원 나노응용기술사업단
저자: 김종국, 한국기계연구소 박막공정그룹
저자: 이광렬, 한국과학기술연구원 미래기술연구본부
저자: 윤기현, 연세대학교 세라믹 공학과
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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