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CMP 가공 메카니즘의 기계적 요인의 규명 = Indentification of the mechanical aspects of material removal mechanims in CMP
표제/저자사항 CMP 가공 메카니즘의 기계적 요인의 규명 = Indentification of the mechanical aspects of material removal mechanims in CMP / 신영재, 이응숙, 강재훈
형태사항 p. 7-12: 삽도; 26 cm
주기사항 수록자료: 한국공작기계학회지. 韓國工作機械學會. 9권 5호(2000년 10월), p. 7-12 9:5<7 상세보기 ISSN 1226-8097
저자: 신영재, 한국기계연구원 자동화연구부
저자: 이응숙, 한국기계연구원 자동화연구부
저자: 강재훈, 한국기계연구원 자동화연구부
출처 국립중앙도서관 바로가기
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
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710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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