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저급 TEOS계 산업 부산물을 재활용한 실리콘 웨이퍼용 연마제의 합성 및 특성 = Synthesis and characteristics of polishing agent for silicon wafer by reutilizing of low - grade teos produced as an industrial by - product
표제/저자사항 저급 TEOS계 산업 부산물을 재활용한 실리콘 웨이퍼용 연마제의 합성 및 특성 = Synthesis and characteristics of polishing agent for silicon wafer by reutilizing of low - grade teos produced as an industrial by - product / 노재성, 김도수, 신진용, 박대용, 서신석
형태사항 p. 691-700: 삽도; 26 cm
주기사항 수록자료: 韓國廢棄物學會誌. 韓國廢棄物學會. 14卷 7號(1997년 10월), p. 691-700 14:7<691 상세보기 ISSN 1225-7362
저자: 노재성, 충남대학교 공과대학정밀공업화학과
저자: 김도수, 충남대학교 공과대학정밀공업화학과
저자: 신진용, 충남대학교 공과대학정밀공업화학과
저자: 박대용, 충남대학교 공과대학정밀공업화학과
저자: 서신석, 한일시멘트중앙연구소
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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