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화학기계적 연마 가공에서의 윤활 특성 해석 = Analysis of the lubricational characteristics for chemical-mechanical polishing process
표제/저자사항 화학기계적 연마 가공에서의 윤활 특성 해석 = Analysis of the lubricational characteristics for chemical-mechanical polishing process / 박상신, 조철호, 안유민
형태사항 p. 90-97: 삽도; 26 cm
주기사항 수록자료: 潤滑學會誌. 韓國潤滑學會. 15卷 1號(1999년 3월), p. 90-97 15:1<90 상세보기 ISSN 1229-4845
저자: 박상신, 영남대학교 기계공학부
저자: 조철호, 한양대학교 정밀기계공학과 대학원
저자: 안유민, 한양대학교 기계공학과
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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