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SPM을 이용한 Si 표면위에 플라즈마 처리된 소수성 박막의 나노 트라이볼로지적 특성 연구 = Nanotribological characteristics of plasma treated hydrophobic thin films on silicon surfaces using SPM
표제/저자사항 SPM을 이용한 Si 표면위에 플라즈마 처리된 소수성 박막의 나노 트라이볼로지적 특성 연구 = Nanotribological characteristics of plasma treated hydrophobic thin films on silicon surfaces using SPM / 윤의성, 양승호, 고호성, 고석근
형태사항 p. 109-115: 삽도; 26 cm
주기사항 수록자료: 潤滑學會誌. 韓國潤滑學會. 19卷 2號(2003년 4월), p. 109-115 19:2<109 상세보기 ISSN 1229-4845
저자: 윤의성, 한국과학기술연구원 트라이볼로지 연구센터 E-MAIL: esyoon@kist.re.kr
저자: 양승호, 한국과학기술연구원 트라이볼로지 연구센터
저자: 공호성, 한국과학기술연구원 트라이볼로지 연구센터
저자: 고석근, 한국과학기술연구원 박막기술 연구센터
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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