기사
마이크로 압전 소자용 후막 PZT의 제조 및 물성 평가 = Fabrication and characterizations of thick pzt films for micro piezoelectric devices
표제/저자사항 마이크로 압전 소자용 후막 PZT의 제조 및 물성 평가 = Fabrication and characterizations of thick pzt films for micro piezoelectric devices / 박준식, 박광범, 윤대원, 박효덕, 강성군, 최태훈, 이낙규, 나경환
형태사항 p. 569-574: 삽도; 26 cm
주기사항 수록자료: 塑性加工. 한국소성가공학회. 11권 7호(2002년 11월), p. 569-574 11:7<569 상세보기 ISSN 1225-696X
저자: 박준식, 전자부품연구원, 나노메카트로닉스 연구센터
저자: 박광범, 전자부품연구원, 나노메카트로닉스 연구센터
저자: 윤대원, 전자부품연구원, 나노메카트로닉스 연구센터
저자: 박효덕, 전자부품연구원, 나노메카트로닉스 연구센터
저자: 강성군, 한양대학교, 재료공학과
저자: 최태훈, 한국생산기술연구원, 마이크로 성형팀
저자: 이낙규, 한국생산기술연구원, 마이크로 성형팀
저자: 나경환, 한국생산기술연구원, 마이크로 성형팀
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
위로