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정전기력 구동소자를 이용한 MEMS 소재의 탄성특성 및 미세파손특성 평가 = Assessment of elastic and microfailure properties of mems materials using electrostatically operated test device
표제/저자사항
정전기력 구동소자를 이용한 MEMS 소재의 탄성특성 및 미세파손특성 평가 = Assessment of elastic and microfailure properties of mems materials using electrostatically operated test device / 김동원, 이세호, 이낙규, 나경환, 권동일
형태사항
p. 575-580: 삽도; 26 cm
주기사항
수록자료: 塑性加工. 한국소성가공학회. 11권 7호(2002년 11월), p. 575-580 11:7<575 상세보기 ISSN 1225-696X
저자: 김동원, 서울대학교 재료공학부
저자: 이세호, 삼성전자
저자: 이낙규, 한국생산기술연구원
저자: 나경환, 한국생산기술연구원
저자: 권동일, 서울대학교 재료공학부
저자: 김동원, 서울대학교 재료공학부
저자: 이세호, 삼성전자
저자: 이낙규, 한국생산기술연구원
저자: 나경환, 한국생산기술연구원
저자: 권동일, 서울대학교 재료공학부
출처
국립중앙도서관 바로가기
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001KMO201509136
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
