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비정질 실리콘에 인의 이온주입과 다결정 실리콘에 관한 연구 = (A)study of phosphorus implanted amorphous and polysilicon
표제/저자사항 비정질 실리콘에 인의 이온주입과 다결정 실리콘에 관한 연구 = (A)study of phosphorus implanted amorphous and polysilicon / 정원채
형태사항 p. 137-145: 삽도; 26 cm
주기사항 수록자료: 산업기술종합연구소 논문집-경기대학교 산업기술종합연구소. 경기대학교 산업기술종합연구소. 14집(1997년), p. 137-145 14<137 상세보기
저자: 정원채, 전자공학과
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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