기사
마스크 폭에 따른 이온 분포의 모의실험 = Simulation of ion distribution according to mask dimensions
표제/저자사항 마스크 폭에 따른 이온 분포의 모의실험 = Simulation of ion distribution according to mask dimensions / 안병목, 정원채
형태사항 p. 191-198: 삽도; 26 cm
주기사항 수록자료: 산업기술종합연구소 논문집-경기대학교 산업기술종합연구소. 경기대학교 산업기술종합연구소. 16집(1998년), p. 191-198 16<191 상세보기
저자: 안병목, 전자공학과 대학원 재학중
저자: 정원채, 전자공학과
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
위로