국가전거
저자 전거 검색
기사
이방성 식각기술을 이용한 실리콘 에칭방법에 관한 연구 = (A)study on silicon etching method using anisotropic etching technology
표제/저자사항
이방성 식각기술을 이용한 실리콘 에칭방법에 관한 연구 = (A)study on silicon etching method using anisotropic etching technology / 김동수, 정원채
형태사항
p. 89-100: 삽도; 26 cm
주기사항
수록자료: 산업기술종합연구소 논문집-경기대학교 산업기술종합연구소. 경기대학교 산업기술종합연구소. 21집(2001년), p. 89-100 21<89 상세보기
저자: 김동수, 전자공학과 대학원 재학중
저자: 정원채, 전자.기계공학부 전자공학 전공 부교수
저자: 김동수, 전자공학과 대학원 재학중
저자: 정원채, 전자.기계공학부 전자공학 전공 부교수
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
00520150303111639
007ta
008150107s2001 gak 100 kor
0490 ▼lEM6076783▼lEM6076784▼c2▼fSY
05201▼a470▼b15-3
056 ▼a470▼26
08201▼a570▼223
24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
