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표제/저자사항 CMP 공정에 사용되는 연마 소모자재 기술의 이해 / 정해도

형태사항 p. 19-28: 삽도; 26 cm

주기사항 수록자료: 전기전자재료. 한국전기전자재료학회. Vol.12 no.10(1999년 10월), p. 19-28 12:10<19 상세보기 ISSN 1226-7937
저자: 정해도, 부산대학교 전지전자공학부 교수

출처 국립중앙도서관 바로가기

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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관

260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001

300 ▼a81 p. ;▼c30 cm

500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관

504 ▼a참고문헌 수록

650 8▼a생명 과학[生命科學]

650 8▼a생명론[生命論]

710 ▼a토지문화재단

710 ▼a한국생명윤리학회

710 ▼a토지문화관

9501 ▼a가격불명

담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)