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강유전체 박막의 식각 기술 동향
표제/저자사항 강유전체 박막의 식각 기술 동향 / 임규태, 김동표, 김창일
형태사항 p. 28-35: 삽도; 26 cm
주기사항 수록자료: 전기전자재료. 한국전기전자재료학회. Vol.16 no.3(2003년 3월), p. 28-35 16:3<28 상세보기 ISSN 1226-7937
저자: 임규태, 중앙대 전자전기공학부 석사과정
저자: 김동표, 중앙대 전자전기공학부 박사과정
저자: 김창일, 중앙대 전자전기공학부 부교수
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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