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HF 양극반응을 이용한 단결정 실리콘 미세구조의 제조 = Fabrication of single-crystal silicon microstructure by anodic reaction in HF solution
표제/저자사항 HF 양극반응을 이용한 단결정 실리콘 미세구조의 제조 = Fabrication of single-crystal silicon microstructure by anodic reaction in HF solution / 曺贊燮, 沈俊煥, 李錫洙, 李鍾鉉
형태사항 p. 183-194; 26 cm
주기사항 수록자료: 센서학회지. 한국센서학회. 1권 1호(1992년 8월), p. 183-194 1:1<183 상세보기 ISSN 1225-5475
저자: 조찬섭, 경북대학교 전자공학과
저자: 심준환, 경북대학교 전자공학과
저자: 이석수, 경북대학교 전자공학과
저자: 이종현, 정회원 : 경북대학교 전자공학과
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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