기사
고주파 마그네트론 스펏터링법으로 제조한 ZnO 박막의 기판에 따른 효과 = Substrate effects of ZnO films deposited by rf magnetron sputtering
표제/저자사항 고주파 마그네트론 스펏터링법으로 제조한 ZnO 박막의 기판에 따른 효과 = Substrate effects of ZnO films deposited by rf magnetron sputtering / 김영진, 권오준, 유상대, 김기완
형태사항 p. 68-73; 26 cm
주기사항 수록자료: 센서학회지. 한국센서학회. 5권 6호(1996년 11월), p. 68-73 5:6<68 상세보기 ISSN 1225-5475
저자: 김영진, 경북대학교 전자공학과
저자: 권오준, 한국전자통신연구소
저자: 유상대, 경북대학교 전자공학과
저자: 김기완, 경북대학교 전자공학과
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
위로