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실리콘 마이크로머시닝을 이용한 플래퍼-노즐 밸브의 제작 및 특성 실험 = Flapper-nozzle valve fabrication using silicon micromachining and flow characterization
표제/저자사항 실리콘 마이크로머시닝을 이용한 플래퍼-노즐 밸브의 제작 및 특성 실험 = Flapper-nozzle valve fabrication using silicon micromachining and flow characterization / 권영신, 김태현, 조동일
형태사항 p. 72-80; 26 cm
주기사항 수록자료: 센서학회지. 한국센서학회. 6권 1호(1997년 1월), p. 72-80 6:1<72 상세보기 ISSN 1225-5475
저자: 권영신, 서울대학교 전기공학부
저자: 김태현, 서울대학교 전기공학부
저자: 조동일, 서울대학교 전기공학부
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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