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실리콘 기판과 ITO가 코팅된 #7059 유리 기판간의 정전 열 접합 = Electrostatic bonding between Si and ITO-coated #7059 glass substrates
표제/저자사항
실리콘 기판과 ITO가 코팅된 #7059 유리 기판간의 정전 열 접합 = Electrostatic bonding between Si and ITO-coated #7059 glass substrates / 주병권, 정회환, 김영조, 한정인, 조경익, 오명환
형태사항
p. 211-217; 26 cm
주기사항
수록자료: 센서학회지. 한국센서학회. 7권 3호(1998년 5월), p. 211-217 7:3<211 상세보기 ISSN 1225-5475
저자: 주병권, KIST 정보·재료소자연구센터
저자: 정회환, 특허청 반도체 심사 1과
저자: 김영조, 충남산업대학교 전자공학과
저자: 한정인, KEIT 부품연구 1팀
저자: 조경익, ETRI 기능부품연구실
저자: 오명환, KIST 정보·재료소자연구센터
저자: 주병권, KIST 정보·재료소자연구센터
저자: 정회환, 특허청 반도체 심사 1과
저자: 김영조, 충남산업대학교 전자공학과
저자: 한정인, KEIT 부품연구 1팀
저자: 조경익, ETRI 기능부품연구실
저자: 오명환, KIST 정보·재료소자연구센터
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
00520150303111639
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008150107s2001 gak 100 kor
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
