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8빔 압저항형 가속도센서의 자기진단 기능을 위한 IC칩 제조 = Fabrication of IC chip for self-diagnostic function of a eight-beam piezoresistive accelerometer
표제/저자사항 8빔 압저항형 가속도센서의 자기진단 기능을 위한 IC칩 제조 = Fabrication of IC chip for self-diagnostic function of a eight-beam piezoresistive accelerometer / 박창현, 전찬봉, 강희석, 김종집, 이원태, 심준환, 김동권, 이종현
형태사항 p. 38-44; 26 cm
주기사항 수록자료: 센서학회지. 한국센서학회. 8권 1호(1999년 1월), p. 38-44 8:1<38 상세보기 ISSN 1225-5475
저자: 박창현, 삼성전자(주) 반도체 제조본부
저자: 전찬봉, 삼성전자(주) 반도체 제조본부
저자: 강희석, 삼성전자(주) 반도체 제조본부
저자: 김종집, 삼성전자(주) 반도체 제조본부
저자: 이원태, 삼성전자(주) 반도체 제조본부
저자: 심준환, 한국해양대 전자통신공학과
저자: 김동권, 경북대학교 전자전기공학부
저자: 이종현, 경북대학교 전자전기공학부
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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