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S$$F_6$$< / TEX>와 S$$F_6$$< / TEX>-N₂가스를 이용한 텅스텐 박막의 플라즈마 식각에 관한 연구 = (A)study on plasma etching of tungsten thin films using S$$F_6$$< / TEX> and S$$F_6$$< / TEX>-N₂gases
표제/저자사항
S$$F_6$$< / TEX>와 S$$F_6$$< / TEX>-N₂가스를 이용한 텅스텐 박막의 플라즈마 식각에 관한 연구 = (A)study on plasma etching of tungsten thin films using S$$F_6$$< / TEX> and S$$F_6$$< / TEX>-N₂gases / 고용득, 정광진, 최성호, 구경완, 조동율, 천희곤
형태사항
p. 291-297; 26 cm
주기사항
수록자료: 센서학회지. 한국센서학회. 8권 3호(1999년 5월), p. 291-297 8:3<291 상세보기 ISSN 1225-5475
저자: 고용득, 울산대학교 재료금속공학부
저자: 정광진, 울산대학교 재료금속공학부
저자: 최성호, 울산대학교 재료금속공학부
저자: 구경완, 영동대학교 전자공학부
저자: 조동율, 울산대학교 재료금속공학부
저자: 천희곤, 울산대학교 재료금속공학부
저자: 고용득, 울산대학교 재료금속공학부
저자: 정광진, 울산대학교 재료금속공학부
저자: 최성호, 울산대학교 재료금속공학부
저자: 구경완, 영동대학교 전자공학부
저자: 조동율, 울산대학교 재료금속공학부
저자: 천희곤, 울산대학교 재료금속공학부
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
