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PSG 희생층 식각시 AI층을 보호하기 위한 새로운 HF / NH₄F / glycerine 혼합 식각액 = (A)new HF / NH₄F / glycerine aqueous solution for protection of Al layers during sacrificial etching of PSG films
표제/저자사항
PSG 희생층 식각시 AI층을 보호하기 위한 새로운 HF / NH₄F / glycerine 혼합 식각액 = (A)new HF / NH₄F / glycerine aqueous solution for protection of Al layers during sacrificial etching of PSG films / 김성운, 백승준, 김임정, 이승기, 조동일
형태사항
p. 414-420; 26 cm
주기사항
수록자료: 센서학회지. 한국센서학회. 8권 5호(1999년 9월), p. 414-420 8:5<414 상세보기 ISSN 1225-5475
저자: 김성운, 서울대학교 전기공학부
저자: 백승준, 서울대학교 전기공학부
저자: 김임정, 서울대학교 전기공학부
저자: 이승기, 단국대학교 전기공학과
저자: 조동일, 서울대학교 전기공학부
저자: 김성운, 서울대학교 전기공학부
저자: 백승준, 서울대학교 전기공학부
저자: 김임정, 서울대학교 전기공학부
저자: 이승기, 단국대학교 전기공학과
저자: 조동일, 서울대학교 전기공학부
출처
국립중앙도서관 바로가기
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
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710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
