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트렌치 산화막을 이용한 단결정실리콘 MEMS 구조물의 절연기술에 관한 연구 = Isolation technologies for single-crystalline silicon MEMS structures using trench oxide
표제/저자사항
트렌치 산화막을 이용한 단결정실리콘 MEMS 구조물의 절연기술에 관한 연구 = Isolation technologies for single-crystalline silicon MEMS structures using trench oxide / 이상철, 김임정, 김종팔, 박상준, 李相佑, 조동일
형태사항
p. 297-306; 26 cm
주기사항
수록자료: 센서학회지. 한국센서학회. 9권 4호(2000년 7월), p. 297-306 9:4<297 상세보기 ISSN 1225-5475
저자: 이상철, 서울대학교 전기및컴퓨터공학부
저자: 김임정, 서울대학교 전기및컴퓨터공학부
저자: 김종팔, 서울대학교 전기및컴퓨터공학부
저자: 박상준, 서울대학교 전기및컴퓨터공학부
저자: 이상우, 서울대학교 전기및컴퓨터공학부
저자: 조동일, 서울대학교 전기및컴퓨터공학부
저자: 이상철, 서울대학교 전기및컴퓨터공학부
저자: 김임정, 서울대학교 전기및컴퓨터공학부
저자: 김종팔, 서울대학교 전기및컴퓨터공학부
저자: 박상준, 서울대학교 전기및컴퓨터공학부
저자: 이상우, 서울대학교 전기및컴퓨터공학부
저자: 조동일, 서울대학교 전기및컴퓨터공학부
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
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008150107s2001 gak 100 kor
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
