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RF magnetron sputtering 법으로 제조된 LaFeO₃ 박막의 가스감지 특성 = Gas sensing properties of LaFeO₃ thin films fabricated by RF magnetron sputtering method
표제/저자사항 RF magnetron sputtering 법으로 제조된 LaFeO₃ 박막의 가스감지 특성 = Gas sensing properties of LaFeO₃ thin films fabricated by RF magnetron sputtering method / 장재영, 마대영, 박기철, 김정규
형태사항 p. 357-364; 26 cm
주기사항 수록자료: 센서학회지. 한국센서학회. 9권 5호(2000년 7월), p. 357-364 9:5<357 상세보기 ISSN 1225-5475
저자: 장재영, 경상대학교 전기전자공학부
저자: 마대영, 경상대학교 전기전자공학부
저자: 박기철, 경상대학교 전기전자공학부
저자: 김정규, 경상대학교 전기전자공학부
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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