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NH₄OH-H₂O₂-H₂O 혼합액을 이용한 GaAs의 습식식각 특성 연구 및 이를 이용한 부유된 사각형 단면을 가지는 GaAs 미세구조물의 제작 방법 = Wet-etching properties of GaAs using NH₄OH-H₂O₂-H₂O mixed solution and its application to fabrication method for released GaAs microstructures with rectangular cross section
표제/저자사항
NH₄OH-H₂O₂-H₂O 혼합액을 이용한 GaAs의 습식식각 특성 연구 및 이를 이용한 부유된 사각형 단면을 가지는 GaAs 미세구조물의 제작 방법 = Wet-etching properties of GaAs using NH₄OH-H₂O₂-H₂O mixed solution and its application to fabrication method for released GaAs microstructures with rectangular cross section / 김종팔, 박상준, 백승준, 김세태, 구치완, 이승기, 조동일
형태사항
p. 304-313; 26 cm
주기사항
수록자료: 센서학회지. 한국센서학회. 10권 5호(2001년 9월), p. 304-313 10:5<304 상세보기 ISSN 1225-5475
저자: 김종팔, 서울대학교 전기·컴퓨터공학부
저자: 박상준, 서울대학교 전기·컴퓨터공학부
저자: 백승준, 서울대학교 전기·컴퓨터공학부
저자: 김세태, 서울대학교 전기·컴퓨터공학부
저자: 구치완, 서울대학교 전기·컴퓨터공학부
저자: 이승기, 단국대학교 전기공학과
저자: 조동일, 서울대학교 전기·컴퓨터공학부
저자: 김종팔, 서울대학교 전기·컴퓨터공학부
저자: 박상준, 서울대학교 전기·컴퓨터공학부
저자: 백승준, 서울대학교 전기·컴퓨터공학부
저자: 김세태, 서울대학교 전기·컴퓨터공학부
저자: 구치완, 서울대학교 전기·컴퓨터공학부
저자: 이승기, 단국대학교 전기공학과
저자: 조동일, 서울대학교 전기·컴퓨터공학부
출처
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MARC 보기
001KMO201509136
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
