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PECVD에 의해 증착된 TiN 박막의 잔류응력 = (The)residual stress of TiN thin film deposited by PECVD
표제/저자사항
PECVD에 의해 증착된 TiN 박막의 잔류응력 = (The)residual stress of TiN thin film deposited by PECVD / 송기덕, 남옥현, 이인우, 이건환, 김문일
형태사항
p. 70-78: 삽도; 26 cm
주기사항
수록자료: 열처리공학회지. 韓國熱處理工學會. 6卷 2號(1993년 6월), p. 70-78 6:2<70 상세보기 ISSN 1225-1070
저자: 송기덕, 연세대학교 금속공학과
저자: 남옥현, 연세대학교 금속공학과
저자: 이인우, 수원전문대학 열처리과
저자: 이건환, 한국기계연구원 박막기술실
저자: 김문일, 연세대학교 금속공학과
저자: 송기덕, 연세대학교 금속공학과
저자: 남옥현, 연세대학교 금속공학과
저자: 이인우, 수원전문대학 열처리과
저자: 이건환, 한국기계연구원 박막기술실
저자: 김문일, 연세대학교 금속공학과
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
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710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
