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직교배열표를 쓴 remote-PECVD 산화막형성의 공정최적화 및 특성 = Optimization of remote plasma enhanced chemical vapor deposition oxide deposition process using orthogonal array table and properties
표제/저자사항
직교배열표를 쓴 remote-PECVD 산화막형성의 공정최적화 및 특성 = Optimization of remote plasma enhanced chemical vapor deposition oxide deposition process using orthogonal array table and properties / 김광호, 김제덕, 유병곤, 구진근, 김경수
형태사항
p. 171-175: 삽도; 26 cm
주기사항
수록자료: 電氣電子材料學會誌. 韓國電氣電子材料學會. 8券 2號(1995년 3월), p. 171-175 8:2<171 상세보기 ISSN 1225-6684
저자: 김광호, 청주대학교 반도체공학과
저자: 김제덕, 청주대학교 반도체공학과
저자: 유병곤, 한국전자통신연구소 반도체연구단
저자: 구진근, 한국전자통신연구소 반도체연구단
저자: 김경수, 한국전자통신연구소 반도체연구단
저자: 김광호, 청주대학교 반도체공학과
저자: 김제덕, 청주대학교 반도체공학과
저자: 유병곤, 한국전자통신연구소 반도체연구단
저자: 구진근, 한국전자통신연구소 반도체연구단
저자: 김경수, 한국전자통신연구소 반도체연구단
출처
국립중앙도서관 바로가기
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001KMO201509136
00520150303111639
007ta
008150107s2001 gak 100 kor
0490 ▼lEM6076783▼lEM6076784▼c2▼fSY
05201▼a470▼b15-3
056 ▼a470▼26
08201▼a570▼223
24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
