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UV / O₃을 이용한 Si contact hole 건식세정에 관한 연구 = Dry cleaning of Si contact hole using UV / O₃ method
표제/저자사항
UV / O₃을 이용한 Si contact hole 건식세정에 관한 연구 = Dry cleaning of Si contact hole using UV / O₃ method / 최진식, 고용득, 구경일, 김성일, 천희곤
형태사항
p. 8-14: 삽도; 26 cm
주기사항
수록자료: 電氣電子材料學會誌. 韓國電氣電子材料學會. 10卷 1號(1997년 1월), p. 8-14 10:1<8 상세보기 ISSN 1225-6684
저자: 최진식, 울산대학교 공과대학 재료공학과
저자: 고용득, 울산대학교 공과대학 재료공학과
저자: 구경완, 울산대학교 공과대학 재료공학과
저자: 김성일, 영동공과대학 전자공학부
저자: 천희곤, 영동공과대학 전자공학부
저자: 최진식, 울산대학교 공과대학 재료공학과
저자: 고용득, 울산대학교 공과대학 재료공학과
저자: 구경완, 울산대학교 공과대학 재료공학과
저자: 김성일, 영동공과대학 전자공학부
저자: 천희곤, 영동공과대학 전자공학부
출처
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
