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CoNbZrCuCoNbZr 다층막의 습식 식각 거동 = A behavior of the wet etching of CoNBZrCuCoNBZr multi-layer films
표제/저자사항 CoNbZrCuCoNbZr 다층막의 습식 식각 거동 = A behavior of the wet etching of CoNBZrCuCoNBZr multi-layer films / 김현식, 이영생, 송재성, 오영우, 윤재홍
형태사항 p. 645-650: 삽도; 26 cm
주기사항 수록자료: 電氣電子材料學會誌. 韓國電氣電子材料學會. 10卷 7號(1997년 8월), p. 645-650 10:7<650 상세보기 ISSN 1225-6684
저자: 김현식, 경남대학교 공대 무기재료공학과
저자: 이영생, 창원대학교 공대 재료공학과
저자: 송재성, 한국전기연구소 비정질재료연구팀
저자: 오영우, 경남대학교 공대 무기재료공학과
저자: 윤재홍, 창원대학교 공대 재료공학과
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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