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고주파 때려내기법에 의한 질화알루미늄 박막의 제작과 특성 = Preparation and characterization of ain thin films by rf sputtering method
표제/저자사항
고주파 때려내기법에 의한 질화알루미늄 박막의 제작과 특성 = Preparation and characterization of ain thin films by rf sputtering method / 정성훈, 김영호, 문동찬, 김선태
형태사항
p. 706-712: 삽도; 26 cm
주기사항
수록자료: 電氣電子材料學會誌. 韓國電氣電子材料學會. 10卷 7號(1997년 8월), p. 706-712 10:7<706 상세보기 ISSN 1225-6684
저자: 정성훈, 광운대학교 공대 전자재료공학과
저자: 김영호, 광운대학교 공대 전자재료공학과
저자: 문동찬, 광운대학교 공대 전자재료공학과
저자: 김선태, 대전산업대학교 재료공학과
저자: 정성훈, 광운대학교 공대 전자재료공학과
저자: 김영호, 광운대학교 공대 전자재료공학과
저자: 문동찬, 광운대학교 공대 전자재료공학과
저자: 김선태, 대전산업대학교 재료공학과
출처
국립중앙도서관 바로가기
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
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710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
