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Deposition and characterization of SiN and SiC for membrane applications
표제/저자사항 Deposition and characterization of SiN and SiC for membrane applications / 이승윤, 강정호, 손주혁, 안진호
형태사항 p. 83-90: 삽도; 26 cm
주기사항 수록자료: 마이크로전자 및 패키징학회지. 한국마이크로전자 및 패키징학회. 5권 1호(1998년 6월), p. 83-90 5:1<83 상세보기 ISSN 1226-9360
저자: 이승윤, 한양대학교 재료공학과
저자: 강정호, 한양대학교 재료공학과
저자: 손주혁, 서울시립대학교 물리학과
저자: 안진호, 한양대학교 재료공학과
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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