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Pd 촉매의 부분 산화 조절을 이용한 SnO₂ 박막 센서의 CH₄ 감도 변화 연구 = (The)effect of initial pd catalyst oxidation state on CH₄ sensitivity of SnO₂ thin film sensor
표제/저자사항 Pd 촉매의 부분 산화 조절을 이용한 SnO₂ 박막 센서의 CH₄ 감도 변화 연구 = (The)effect of initial pd catalyst oxidation state on CH₄ sensitivity of SnO₂ thin film sensor / 최원국, 조정, 조준식, 송재훈, 정형진, 고석근
형태사항 p. 45-49: 삽도; 26 cm
주기사항 수록자료: 마이크로전자 및 패키징학회지. 한국마이크로전자 및 패키징학회. 6권 2호(1999년 6월), p. 45-49 6:2<45 상세보기 ISSN 1226-9360
저자: 최원국, 한국과학기술연구원 박막기술연구센터
저자: 조정, 한국과학기술연구원 박막기술연구센터
저자: 조준식, 한국과학기술연구원 박막기술연구센터
저자: 송재훈, 한국과학기술연구원 박막기술연구센터
저자: 정형진, 한국과학기술연구원 박막기술연구센터
저자: 고석근, 한국과학기술연구원 박막기술연구센터
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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