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X-선 노광용 마스크 제작공정에 관한 연구 = (A)study on the mask fabrication process for X-ray lithopgraphy
표제/저자사항
X-선 노광용 마스크 제작공정에 관한 연구 = (A)study on the mask fabrication process for X-ray lithopgraphy / 박창모, 우상균, 이승윤, 안진호
형태사항
p. 1-6: 삽도; 26 cm
주기사항
수록자료: 마이크로전자 및 패키징학회지. 한국마이크로전자 및 패키징학회. 7권 2호(2000년 6월), p. 1-6 7:2<1 상세보기 ISSN 1226-9360
저자: 박창모, 한양대학교 재료공학과
저자: 우상균, 한양대학교 재료공학과
저자: 이승윤, 한양대학교 재료공학과
저자: 안진호, 한양대학교 재료공학과
저자: 박창모, 한양대학교 재료공학과
저자: 우상균, 한양대학교 재료공학과
저자: 이승윤, 한양대학교 재료공학과
저자: 안진호, 한양대학교 재료공학과
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
00520150303111639
007ta
008150107s2001 gak 100 kor
0490 ▼lEM6076783▼lEM6076784▼c2▼fSY
05201▼a470▼b15-3
056 ▼a470▼26
08201▼a570▼223
24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
