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저유전상수 폴리머와 SiO₂ 기판위에 형성된 AL / TI 박막의 우선방위 비교 = Comparative study of texture of AL / TI thin films deposited on low dielectric polymer and SiO₂ substrates
표제/저자사항
저유전상수 폴리머와 SiO₂ 기판위에 형성된 AL / TI 박막의 우선방위 비교 = Comparative study of texture of AL / TI thin films deposited on low dielectric polymer and SiO₂ substrates / 유세훈, 김영호
형태사항
p. 37-42: 삽도; 26 cm
주기사항
수록자료: 마이크로전자 및 패키징학회지. 한국마이크로전자 및 패키징학회. 7권 2호(2000년 6월), p. 37-42 7:2<37 상세보기 ISSN 1226-9360
저자: 유세훈, 한양대학교 재료공학과
저자: 김영호, 한양대학교 재료공학과
저자: 유세훈, 한양대학교 재료공학과
저자: 김영호, 한양대학교 재료공학과
출처
국립중앙도서관 바로가기
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001KMO201509136
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
