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Electrical properties of interlayer low dielectric polyimide with electron cyclotron resonance etching process = ECR 식각 공정에 따른 층간절연막 폴리이미드의 전기적 특성
표제/저자사항
Electrical properties of interlayer low dielectric polyimide with electron cyclotron resonance etching process = ECR 식각 공정에 따른 층간절연막 폴리이미드의 전기적 특성 / Sang Hoon Kim, Jinho Ahn
형태사항
p. 13-17: 삽도; 26 cm
주기사항
수록자료: 마이크로전자 및 패키징학회지. 한국마이크로전자 및 패키징학회. 7권 3호(2000년 9월), p. 13-17 7:3<13 상세보기 ISSN 1226-9360
저자: Sang Hoon Kim, Deparment of Materials Engineering, hanyang university,
저자: Jinho Ahn, Deparment of Materials Engineering, hanyang university,
저자: Sang Hoon Kim, Deparment of Materials Engineering, hanyang university,
저자: Jinho Ahn, Deparment of Materials Engineering, hanyang university,
출처
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001KMO201509136
00520150303111639
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008150107s2001 gak 100 kor
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
