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Mo / Si 다층박막의 극자외선 반사도에 대한 전산모사 = Optical simulation on EUV reflectivity of Mo / Si multilayer structure
표제/저자사항
Mo / Si 다층박막의 극자외선 반사도에 대한 전산모사 = Optical simulation on EUV reflectivity of Mo / Si multilayer structure / 이영태, 강인용, 정용재, 이승윤, 허성민, 안진호, 복철규
형태사항
p. 19-24: 삽도; 26 cm
주기사항
수록자료: 마이크로전자 및 패키징학회지. 한국마이크로전자 및 패키징학회. 8권 2호(2001년 6월), p. 19-24 8:2<19 상세보기 ISSN 1226-9360
저자: 이영태, 한양대학교 세라믹공학과
저자: 강인용, 한양대학교 세라믹공학과
저자: 정용재, 한양대학교 세라믹공학과
저자: 이승윤, 한양대학교 재료공학과
저자: 허성민, 한양대학교 재료공학과
저자: 안진호, 한양대학교 재료공학과
저자: 복철규, 현대전자산업㈜ 메모리연구소
저자: 이영태, 한양대학교 세라믹공학과
저자: 강인용, 한양대학교 세라믹공학과
저자: 정용재, 한양대학교 세라믹공학과
저자: 이승윤, 한양대학교 재료공학과
저자: 허성민, 한양대학교 재료공학과
저자: 안진호, 한양대학교 재료공학과
저자: 복철규, 현대전자산업㈜ 메모리연구소
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
