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반도체용 다결정 실리콘 제조 기술
표제/저자사항 반도체용 다결정 실리콘 제조 기술 / 김희영
형태사항 p. 50-58: 삽도; 26 cm
주기사항 수록자료: 화학공업과 기술. 한국화학공학회. 제14권 1호(1996년 1월), p. 50-58 14:1<50 상세보기 ISSN 0256-1107
저자: 김희영, 한국화학연구소 실리콘 소재 연구팀
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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