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차세대 노광공정과 마스크의 개발
표제/저자사항 차세대 노광공정과 마스크의 개발 / 이승윤, 안진호
형태사항 p. 40-46: 삽도; 26 cm
주기사항 수록자료: 재료마당. 대한금속·재료학회. Vol.14, no.6(2001년 10월), p. 40-46 14:6<40 상세보기 ISSN 1225-1550
저자: 이승윤, 한양대학교 신소재공학부
저자: 안진호, 한양대학교 신소재공학부
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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