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원자층 증착 기술
표제/저자사항 원자층 증착 기술 / 전형탁
형태사항 p. 35-44: 삽도; 26 cm
주기사항 수록자료: 재료마당. 대한금속·재료학회. Vol.16, no.3(2003년 6월), p. 35-44 16:3<35 상세보기 ISSN 1225-1550
저자: 전형탁, 한양대학교 신소재공학부
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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