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표제/저자사항 Cu dual-damascene 공정을 이용한 다층금속배선 연구 = Studies on multi-level interconnection using cu dual-damascene processes / 윤관기, 이진구

형태사항 p. 73-80; 26 cm

주기사항 수록자료: 産業技術論文集-東國大學校産業技術硏究院. 東國大學校産業技術硏究院. 12輯(1998년 12월), p. 73-80 12<73 상세보기 ISSN 1229-8883
저자: 윤관기, 동국대학교 전자공학과
저자: 이진구, 동국대학교 전자공학과

출처 국립중앙도서관 바로가기

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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관

260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001

300 ▼a81 p. ;▼c30 cm

500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관

504 ▼a참고문헌 수록

650 8▼a생명 과학[生命科學]

650 8▼a생명론[生命論]

710 ▼a토지문화재단

710 ▼a한국생명윤리학회

710 ▼a토지문화관

9501 ▼a가격불명

담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)