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플라즈마 이온주입기에서의 시변환 쉬스 연구 = Measurement of time-dependent sheath in plasma source ion implantation
표제/저자사항
플라즈마 이온주입기에서의 시변환 쉬스 연구 = Measurement of time-dependent sheath in plasma source ion implantation / 김곤호, 김건우, 최영도, 김종식, 김상진, 한승희, 홍문표
형태사항
p. 333-337; 26 cm
주기사항
수록자료: 工學技術論文集-漢陽大學校. 漢陽大學校 出版院. 제7권 1호(1998년 8월), p. 333-337 7:1<333 상세보기
저자: 김곤호, Department of Physics, Hanyang University-Ansan
저자: 김건우, Department of Physics, Hanyang University-Ansan
저자: 김영우, Department of Physics, Hanyang University-Ansan
저자: 최영도, Department of Physics, Hanyang University-Ansan
저자: 김종식, Department of Physics, Hanyang University-Ansan
저자: 김상진, Department of Physics, Hanyang University-Ansan
저자: 한승희, Advanced Analysis Center, Korea Institute of Science and Technology, Seoul, Korea
저자: 홍문표, AMLCD Division, Samsung Electronics, Yongin-si, Kyunggi-do, Korea
저자: 김곤호, Department of Physics, Hanyang University-Ansan
저자: 김건우, Department of Physics, Hanyang University-Ansan
저자: 김영우, Department of Physics, Hanyang University-Ansan
저자: 최영도, Department of Physics, Hanyang University-Ansan
저자: 김종식, Department of Physics, Hanyang University-Ansan
저자: 김상진, Department of Physics, Hanyang University-Ansan
저자: 한승희, Advanced Analysis Center, Korea Institute of Science and Technology, Seoul, Korea
저자: 홍문표, AMLCD Division, Samsung Electronics, Yongin-si, Kyunggi-do, Korea
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
00520150303111639
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008150107s2001 gak 100 kor
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
