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엑시머 레이저를 이용한 3차원 마이크로 가공 = Three dimensional micromachining using excimer laser
표제/저자사항 엑시머 레이저를 이용한 3차원 마이크로 가공 = Three dimensional micromachining using excimer laser / 최경현
형태사항 p. 101-106; 27 cm
주기사항 수록자료: 尖端技術硏究所論文集. 제주대학교 공과대학 첨단기술연구소. 제12권 2호(2001년 12월), p. 101-106 12:2<101 상세보기 ISSN 1598-5849
저자: 최경현, 제주대학교 기계에너지생산공학부, 산업기술연구소
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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