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Built-in ion sputtering pump and the characteristics = 이온 펌프의 제작과 특성에 관한 연구
표제/저자사항 Built-in ion sputtering pump and the characteristics = 이온 펌프의 제작과 특성에 관한 연구 / Park, Chong-Yun, Lee, Soon-Bo, Boo, Jin-Hyo, Shin, Ik-Jo
형태사항 p. 103-110; 26 cm
주기사항 수록자료: 成均館大學校論文集. 成均館大學敎 基礎科學硏究所. 제41권 1호(1990년 8월), p. 103-110 41:1<103 상세보기
저자: Park, Chong-Yun, 성균관대학교 물리학과 교수
저자: Lee, Soon-Bo, 성균관대학교 화학과 교수
저자: Boo, Jin-Hyo, 성균관대학교 화학과
저자: Shin, Ik-Jo, 성균관대학교 물리학과
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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