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사중극자질량분석기를 사용한 이론플레이팅 플라즈마내의 이온 운동에너지 측정 = Measurement of ion's kinetic energy in plasmas for ion plating by quadrupole mass spectrometer
표제/저자사항 사중극자질량분석기를 사용한 이론플레이팅 플라즈마내의 이온 운동에너지 측정 = Measurement of ion's kinetic energy in plasmas for ion plating by quadrupole mass spectrometer / 朱廷焄
형태사항 p. 337-348; 27 cm
주기사항 수록자료: 工學硏究論文集. 群山大學校 工學硏究所. 2집(1992), p. 337-348 2<337 상세보기
저자: 주정훈, 군산대학교 공과대학 재료공학과 전임강사
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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