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실리콘 기판 위에 화학적 방법으로 증착된 구리 박막의 특성 연구 = (A)study on copper thin film growth by chemical vapor deposition onto silicon substrates
표제/저자사항
실리콘 기판 위에 화학적 방법으로 증착된 구리 박막의 특성 연구 = (A)study on copper thin film growth by chemical vapor deposition onto silicon substrates / 조남인, 박동일, 김창교, 김용석
형태사항
p. 318-326; 29 cm
주기사항
수록자료: Journal of the Korean crystal growth and crystal technology. 韓國結晶成長學會. 6권 3호(1996년 8월), p. 318-326 6:3<318 상세보기 ISSN 1225-1429
저자: 조남인, 선문대학교 전자공학과
저자: 박동일, 선문대학교 전자공학과
저자: 김창교, 순천향대학교 전자공학과
저자: 김용석, 선문대학교 물리학과
저자: 조남인, 선문대학교 전자공학과
저자: 박동일, 선문대학교 전자공학과
저자: 김창교, 순천향대학교 전자공학과
저자: 김용석, 선문대학교 물리학과
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
00520150303111639
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)