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마이크로웨이브 플리즈마 화학기상증착에 의한 다이아몬드 박막의 성장 관찰을 위한 분광 Ellipsometry의 이용 = (The)use of spectroscopic Ellipsometry for the observation of diamond thin film growth by microwave plasma chemical vapor deposition
표제/저자사항 마이크로웨이브 플리즈마 화학기상증착에 의한 다이아몬드 박막의 성장 관찰을 위한 분광 Ellipsometry의 이용 = (The)use of spectroscopic Ellipsometry for the observation of diamond thin film growth by microwave plasma chemical vapor deposition / 홍병유
형태사항 p. 240-248; 29 cm
주기사항 수록자료: Journal of the Korean crystal growth and crystal technology. 韓國結晶成長學會. 8권 2호(1998년 5월), p. 240-248 8:2<240 상세보기 ISSN 1225-1429
저자: 홍병유, 성균관대학교 전기·전자 및 컴퓨터 공학부
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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