국가전거
저자 전거 검색
기사
실리콘 웨이퍼에서의 산소석출 거동 해석 = Study on oxygen precipitation behavior in Si wafers
표제/저자사항
실리콘 웨이퍼에서의 산소석출 거동 해석 = Study on oxygen precipitation behavior in Si wafers / 이보영, 황돈하, 유학도, 권오종
형태사항
p. 84-88; 29 cm
주기사항
수록자료: Journal of the Korean crystal growth and crystal technology. 韓國結晶成長學會. 9권 1호(1999년 2월), p. 84-88 9:1<84 상세보기 ISSN 1225-1429
저자: 이보영, LG 실트론 연구소
저자: 황돈하, LG 실트론 연구소
저자: 유학도, LG 실트론 연구소
저자: 권오종, 경북대학교 금속공학과
저자: 이보영, LG 실트론 연구소
저자: 황돈하, LG 실트론 연구소
저자: 유학도, LG 실트론 연구소
저자: 권오종, 경북대학교 금속공학과
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
00520150303111639
007ta
008150107s2001 gak 100 kor
0490 ▼lEM6076783▼lEM6076784▼c2▼fSY
05201▼a470▼b15-3
056 ▼a470▼26
08201▼a570▼223
24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
