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D.C. 마그네트론 스파터링법에 의하여 증착된 TiN 다층 박막의 특성과 밀찰력에 대하여 = (The)characteristics and adhesion strength of TiN multilayer deposited by D.C. magnetron sputtering
표제/저자사항
D.C. 마그네트론 스파터링법에 의하여 증착된 TiN 다층 박막의 특성과 밀찰력에 대하여 = (The)characteristics and adhesion strength of TiN multilayer deposited by D.C. magnetron sputtering / 김선규, 유정광, 이건환, 권식철
형태사항
p. 213-222; 26 cm
주기사항
수록자료: 한국표면공학회지. 한국표면공학회. 30권 3호(1997년 6월), p. 213-222 30:3<213 상세보기 ISSN 1225-8024
저자: 김선규, 울산대학교 공과대학 재료공학·금속공학부
저자: 유정광, 대우전자 제 2연구소
저자: 이건환, 한국기계연구원 박막연구실
저자: 권식철, 한국기계연구원 박막연구실
저자: 김선규, 울산대학교 공과대학 재료공학·금속공학부
저자: 유정광, 대우전자 제 2연구소
저자: 이건환, 한국기계연구원 박막연구실
저자: 권식철, 한국기계연구원 박막연구실
출처
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001KMO201509136
00520150303111639
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
