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SnCl₄가수분해 반응의 화학증착법에 의한 SnO₂박막의 제조 및 가스센서 특성1, 증착변수가 SnO₂박막의 증착거동 및 전기 비저항에 미치는 영향 = Preparation of SnO₂thin films by chemical vapor deposition using hydrolysis of SnCl₄and gas-sensing characteristics of the film, Effect of deposition variables on the deposition behavior and the electrical resistivity of SnO₂thin film
표제/저자사항
SnCl₄가수분해 반응의 화학증착법에 의한 SnO₂박막의 제조 및 가스센서 특성1, 증착변수가 SnO₂박막의 증착거동 및 전기 비저항에 미치는 영향 = Preparation of SnO₂thin films by chemical vapor deposition using hydrolysis of SnCl₄and gas-sensing characteristics of the film, Effect of deposition variables on the deposition behavior and the electrical resistivity of SnO₂thin film / 김용일, 김광호, 박희찬
형태사항
p. 18-23; 26 cm
주기사항
수록자료: 한국표면공학회지. 한국표면공학회. 23권 2호(1990년 4월), p. 18-23 23:2<18 상세보기 ISSN 1225-8024
저자: 김용일, 부산대학교 무기재료공학과
저자: 김광호, 부산대학교 무기재료공학과
저자: 박희찬, 부산대학교 무기재료공학과
저자: 김용일, 부산대학교 무기재료공학과
저자: 김광호, 부산대학교 무기재료공학과
저자: 박희찬, 부산대학교 무기재료공학과
출처
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MARC 보기
001KMO201509136
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
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710 ▼a토지문화재단
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담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
