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표제/저자사항 ECR 플라즈마를 이용한 실리콘질화박막 증착 = Silicon nitride thin film deposition using ECR plasma / 송선규, 장홍영

형태사항 p. 218-224; 26 cm

주기사항 수록자료: 한국표면공학회지. 한국표면공학회. 23권 4호(1990년 8월), p. 218-224 23:4<218 상세보기 ISSN 1225-8024
저자: 송선규, 한국과학기술원 물리학과
저자: 장홍영, 한국과학기술원 물리학과

출처 국립중앙도서관 바로가기

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056 ▼a470▼26

08201▼a570▼223

24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관

260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001

300 ▼a81 p. ;▼c30 cm

500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관

504 ▼a참고문헌 수록

650 8▼a생명 과학[生命科學]

650 8▼a생명론[生命論]

710 ▼a토지문화재단

710 ▼a한국생명윤리학회

710 ▼a토지문화관

9501 ▼a가격불명

담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)