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RF 플라즈마를 이용한 금속 코발트와 몰리브데늄의 표면 식각 연구 = (A)study on surface etching of metallic Co and Mo in R.F. plasma
표제/저자사항
RF 플라즈마를 이용한 금속 코발트와 몰리브데늄의 표면 식각 연구 = (A)study on surface etching of metallic Co and Mo in R.F. plasma / 서용대, 김용수, 정종헌, 오원진
형태사항
p. 10-16; 26 cm
주기사항
수록자료: 한국표면공학회지. 한국표면공학회. 34권 1호(2001년 2월), p. 10-16 34:1<10 상세보기 ISSN 1225-8024
저자: 서용대, 한양대학교 원자력공학과
저자: 김용수, 한양대학교 원자력공학과
저자: 정종헌, 한국원자력연구소
저자: 오원진, 한국원자력연구소
저자: 서용대, 한양대학교 원자력공학과
저자: 김용수, 한양대학교 원자력공학과
저자: 정종헌, 한국원자력연구소
저자: 오원진, 한국원자력연구소
출처
국립중앙도서관 바로가기
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001KMO201509136
00520150303111639
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008150107s2001 gak 100 kor
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
